فیبرکیٹنگ پلیٹ پر، فوٹوریزسٹ کو بیک کرنے کے دوران درجہ حرارت میں ہونے والی تبدیلیاں کوئی نظریاتی مسئلہ نہیں ہیں؛ بلکہ یہ پروڈکشن کی کارکردگی کو متاثر کرنے والے عوامل ہیں۔ 0.5°C کی تبدیلی سے بھی اہم ابعاد میں تبدیلی آ جاتی ہے، اور وہ لیمپ جو مستقل طور پر مناسب درجہ حرارت کی تلاش میں رہتا ہے، ہر بار کئی منٹ ضائع کرتا ہے۔ ہم نے لیمپ سسٹمز کے لئے ایک SCR پاور ریگولیٹر تیار کیا ہے، تاکہ اس قسم کی تغیرات کو ختم کیا جا سکے۔
تکنیکی اعتبار سے اہم بات یہ ہے کہ یہ ریگولیٹر فیز-انگل کنٹرول کے ذریعہ کام کرتا ہے، اور اس میں کم EMI ہے۔ یہ لیمپ کی طاقت کو مستحکم رکھتا ہے، بغیر پڑوسی سسٹموں میں شور پیدا کیے۔ یہ ہیلوجن، کوارٹز، شارٹ-ویو، میڈیم-ویو، اور کاربن-فائبر لیمپوں کے ساتھ کام کر سکتا ہے، اور لائن اور لوڈ کی حالتوں میں تبدیلی کے باوجود بھی آؤٹ پٹ کو مستحکم رکھتا ہے۔
عملی طور پر، اس کا مطلب یہ ہے کہ بیکنگ کے دوران درجہ حرارت میں استحکام رہتا ہے، اور ویفر کی سطح پر درجہ حرارت ±0.1°C کے اندر رہتا ہے۔ یہ کلین روم کے معیارات کے مطابق بھی کام کرتا ہے؛ مواد اور ڈیزائن Class 1–100 کے مطابق ہے، اور اس کے استعمال سے کوئی ذرات پیدا نہیں ہوتے۔
اس کے کام کرنے کی وجہ بہت سادہ ہے – یہ یونٹ پروسیس کنٹرول فراہم کرتا ہے، جسے پیمائش کیا جا سکتا ہے۔ فوٹوریزسٹ کی بیکنگ کی درستگی بہتر ہو جاتی ہے، اس لئے کم تبدیلیاں ہوتی ہیں، جس سے دوبارہ بیکنگ کی ضرورت نہیں پڑتی۔ حرارتی استحکام کی وجہ سے بیکنگ کا عمل تیز ہو جاتا ہے، بغیر کسی نقصان کے۔
توانائی کی کھپت بھی کم ہو جاتی ہے، کیوں کہ ریگولیٹر لیمپ کی طاقت کو درست طریقے سے کنٹرول کرتا ہے – کوئی زیادتی نہیں، کوئی ضائع شدہ توانائی نہیں۔ نتیجے کے طور پر، پروڈکشن کی کارکردگی بہتر ہو جاتی ہے: کم بلاوجہ رکاوٹیں، کم پیرامیٹر تبدیلیاں، اور ہر ویفر کے نتائج مستحکم رہتے ہیں۔
چند عملی نکات: یہ ریگولیٹر زیادہ تر معیاری لیمپوں کے ساتھ کام کرتا ہے، لیکن لیمپ کی کولڈ رزسٹنس اور انرش ڈیفینس کو مناسب طریقے سے سیٹ کرنا ضروری ہے، تاکہ کنٹرول مستحکم رہے۔ آپ کو اپنے خاص لیمپ اور تھرمل ماس کے لئے PID لوپ کو ٹیون کرنے کی ضرورت ہے؛ بصورت دیگر، جب سیٹ پوائنٹ میں تبدیلی ہوتی ہے، تو تھوڑی زیادتی ہو سکتی ہے۔
مناسب حرارتی تبدیلی کے لئے منصوبہ بندی کریں، اور اس یونٹ کو مضبوط گیسوں سے دور رکھیں۔ جب یہ ٹھیک سے کام کرنے لگتا ہے، تو یہ سسٹم 5,000 گھنٹوں تک بغیر کسی رکاوٹ کے کام کرتا رہتا ہے، اور آؤٹ پٹ میں 5% سے بھی کم تبدیلی ہوتی ہے۔ اس طرح، آپ کا حرارتی بجٹ محفوظ رہتا ہے۔