فیبرکی فلور پر، فوٹو ریزسٹ کو بیک کرنے کے دوران درجہ حرارت میں 0.2°C کا تغیر، سی ڈی کی یکسانیت کو نقصان پہنچاتا ہے؛ اور یہ تغیر چارٹس میں نظر آنے سے پہلے ہی پیدا ہو جاتا ہے۔ ہم نے اپنے سیمی کنڈکٹر لیزر ڈائیوڈ ہیٹر کو اسی مقصد کے لئے تیار کیا ہے، تاکہ یہ تغیرات کو شروع ہونے سے ہی روک سکے۔ کیونکہ اس صنعت میں حرارتی کنٹرول کوئی معاون نظام نہیں، بلکہ یہ خود ہی ایک اہم عمل ہے۔
انفراریڈ درستگی: سب-ملی میٹر سطح کی یکسانیت، قابل تکرار
ہم نے نیئر-انفراریڈ اخراج کو کم حرارتی ماس والے ویفرز کے ساتھ استعمال کیا ہے، تاکہ حرارتی فیلڈ سب-ملی میٹر سطح پر ہی رہے، اور کنارے سے درمیان تک کے فرق کم ہو جائے۔ ایکٹیو زون میں، ویفر کی سطح پر یکسانیت ±0.1°C کے اندر رہتی ہے، اور یہ یکسانیت بار بار بھی برقرار رہتی ہے۔
ردِعمل تیز اور قابل پیشن گوئی ہے؛ یعنی “سافٹ بیک” اور “ہارڈ بیک” عملات بغیر کسی خرابی کے مطلوبہ معیار پر ہی رہتے ہیں۔ کسی خاص پروفائل کی پیروی کرنے کی ضرورت نہیں ہے۔
لیتھوگرافی اور فوٹو ریزسٹ بیکنگ میں اس کی کارکردگی
لیتھوگرافی میں، فوٹو ریزسٹ کا رویہ درجہ حرارت کی تاریخ پر منحصر ہے، نہ کہ ڈسپلے پر دکھائے گئے مقدار پر۔ ہمارا لیزر ڈائیوڈ ہیٹر اس تاریخ کو مستحکم رکھتا ہے، جس سے لائن کی چوڑائی میں تغیرات کم ہوتے ہیں، اور اہم ترین پرتوں کی حفاظت ہوتی ہے۔
یہ یونٹ کلاس 1–100 کے کلین رومز میں کام کرتا ہے، جہاں کوئی ذرہ پیدا نہیں ہوتا، اور آپٹیکل پاتھ بھی بند رہتا ہے؛ اس طرح آلودگی حرارتی نظام میں داخل نہیں ہو سکتی۔ نتیجے کے طور پر، 24/7 مستقل کارکردگی، کم توانائی کی کھپت، اور کم استعمال شدہ سامان کی ضرورت ہوتی ہے… بغیر کوالٹی میں کمی کے۔
نصب اور سازگاری: حقیقی پروڈکشن لائن کے لئے منصوبہ بندی
یہ یونٹ موجودہ ویفر ٹریک اور بیکنگ ماڈیولز میں استعمال کیا جا سکتا ہے، لیکن اس کے لئے درست الائنمنٹ اور کلین روم سے مطابقت رکھنا ضروری ہے۔ حرارتی کارکردگی درست ایمیسیویٹی کی سیٹنگ اور ماحولیاتی درجہ حرارت کو کنٹرول کرنے پر منحصر ہے۔
کمپلیشن کے بعد، عمل بار بار قابل تکرار رہتا ہے… کسی مسلسل ایڈجسٹمنٹ کی ضرورت نہیں ہے۔