Trong quy trình in ấn bằng phương pháp lithography, một sự thay đổi nhiệt độ chỉ 0,5°C cũng đủ để làm hỏng toàn bộ lô sản phẩm. Quá trình “soft bake” nhằm loại bỏ hoàn toàn chất rắn có trong vật liệu in; còn quá trình “hard bake” thì giúp cố định các thông số nhiệt độ. Khi độ đồng đều về mặt nhiệt độ không được đảm bảo, việc kiểm soát độ dày lớp phủ sẽ trở nên khó khăn, và số lượng hạt bụi tạo ra cũng tăng lên.
Điều chúng tôi đã xây dựng và tại sao nó lại quan trọng
Chúng tôi sử dụng các bộ phát tia hồng ngoại tần số cao kết hợp với hệ thống làm mát bằng thạch anh. Điều này giúp đạt được độ đồng đều về mặt nhiệt độ ở mức ±0,1°C trên toàn bộ bề mặt wafer, đồng thời giữ cho nhiệt độ ổn định suốt thời gian hoạt động. Thiết bị này phù hợp với các môi trường sạch từ cấp độ 1 đến cấp độ 100, và không tạo ra bụi trong quá trình sấy. Các thông số nhiệt độ liên quan đến quá trình in cũng được duy trì ổn định từ lô sản phẩm này sang lô sản phẩm khác.
Tại sao phương pháp này hiệu quả trong quy trình sản xuất
Chúng ta có thể thực hiện cả quá trình “soft bake” và “hard bake” trên cùng một nền tảng nhiệt, nhờ đó loại bỏ được sự chênh lệch nhiệt độ giữa các lò nung khác nhau. Thời gian xử lý được rút ngắn, tỷ lệ sản phẩm bị hỏng giảm xuống. Năng lượng tiêu thụ cũng giảm đi vì sóng hồng ngoại được sử dụng để làm nóng vật liệu in, chứ không phải toàn bộ buồng nung.
Độ tin cậy của thiết bị được đảm bảo nhờ việc sử dụng các linh kiện có khả năng hoạt động liên tục, và bộ phát tia hồng ngoại có thể hoạt động trong hơn 5.000 giờ mà chỉ giảm công suất dưới 5%. Do đó, số lần bảo trì cũng giảm đi, và việc kiểm soát nhiệt độ trên từng wafer cũng trở nên ổn định hơn.
Những điều bạn cần lưu ý khi lập kế hoạch
Thiết bị này có thể được tích hợp vào hệ thống hiện có thông qua các giao diện cơ học và điện tử tiêu chuẩn. Tuy nhiên, nó cần có dây điều khiển riêng 24V và hệ thống làm mát hiệu quả để duy trì độ ổn định về mặt nhiệt độ. Bạn cần tiến hành các xét nghiệm ngắn để xác định sự chênh lệch nhiệt độ giữa bề mặt wafer và lò nung. Một khi các thông số này được điều chỉnh ổn định, hiệu suất của quá trình sấy sẽ được duy trì ổn định, với ít can thiệp từ phía người vận hành nhất.