Ngừng việc làm nóng không khí: Cách hiệu quả hơn để xử lý các tấm wafer
Hãy cùng nói về những lò nung truyền thống. Chúng hoạt động được, nhưng về cơ bản chúng chỉ là những thiết bị sưởi ấm khổng lồ mà thôi. Bạn phải chi rất nhiều tiền để làm nóng toàn bộ buồng nung và không khí bên trong, chỉ để nâng nhiệt độ của các tấm wafer lên mức mong muốn. Đó thật là lãng phí.
Đó là lý do tại sao chúng ta chuyển sang sử dụng phương pháp làm nóng bằng tia hồng ngoại. Thay vì làm nóng cả căn phòng, chúng ta tập trung nhiệt lượng vào chính tấm wafer. Phương pháp này vừa hiệu quả hơn, vừa nhanh hơn; đồng thời giúp tiết kiệm điện năng.
Đảm bảo nhiệt độ chính xác
Trong ngành này, nếu nhiệt độ không đạt mức yêu cầu, bạn sẽ biến một lô chip thành rác thải đắt tiền. Đó là điều mà không ai muốn xảy ra. Chúng tôi sử dụng bức xạ sóng ngắn để nâng nhiệt độ của tấm wafer trong vài giây. Vì đó là nhiệt lượng từ bức xạ, nên chúng ta không lãng phí năng lượng để làm nóng thân máy. Chúng tôi rất chú trọng đến tỷ lệ năng lượng trên mỗi centimet, vì chúng ta muốn có nhiệt độ đồng đều, không có điểm nóng hay bất kỳ sự cố nào xảy ra.
Những bí mật đằng sau công nghệ này
Chúng tôi sử dụng dây tóc tungsten và thạch anh có độ tinh khiết cao để chế tạo những thiết bị này. Nhưng bí quyết nằm ở việc chúng tôi phủ một lớp phủ đặc biệt lên bề mặt thạch anh. Tại sao ư? Bởi vì chúng ta muốn tấm wafer hấp thụ năng lượng, chứ không phản xạ nó trở lại như gương.
Chúng tôi kết hợp những chiếc đèn này với các bộ điều khiển PID có khả năng phản ứng tức thì. Bạn có thể tăng hoặc giảm nhiệt độ một cách nhanh chóng. Điều này giúp quy trình xử lý diễn ra một cách hiệu quả và dễ kiểm soát hơn.
Những nhược điểm và cách khắc phục
Tuy nhiên, vẫn có một nhược điểm. Các bộ phát tia hồng ngoại công suất cao tạo ra lượng nhiệt lớn. Điều này rất tốt để xử lý nhiều chip cùng lúc, nhưng nó cũng gây áp lực lớn lên hệ thống làm mát. Nếu hệ thống làm mát không đáp ứng được yêu cầu, thân máy sẽ trở nên quá nóng. Khi đó, các cảm biến có thể bị lỗi, hoặc dây tóc tungsten có thể bị cháy. Bạn cần đảm bảo rằng hệ thống làm mát có thể đáp ứng được mức nhiệt độ cao này.
Tuy nhiên, lợi ích từ việc này vẫn rất lớn. Việc loại bỏ lượng năng lượng lãng phí giúp giảm chi phí điện năng và giảm lượng khí thải carbon. Bạn sẽ có một nhà máy “xanh”, hoạt động hiệu quả, mà không cần hy sinh các tiêu chuẩn chất lượng cần thiết để tạo ra những chip chất lượng cao.