半导体加热器用特氟龙电线

在晶圆车间，光刻胶烘烤曲线的测量以温度（摄氏度）为准，而非主观判断。软烘或硬烘过程中温度偏差2℃，就会导致关键尺寸控制失效，进而生产线停工。我们采用特氟龙绝缘的加热器线缆，确保热控制维持在工艺窗口内。 从技术角度看，特氟龙能在反复热循环中提供稳定的介电强度和低挥发性。这在加热器高占空比运行且必须保...