适用于真空环境的红外加热器
在半导体制造过程中,如何减少碳排放?为什么真空红外线加热技术如此有效呢?
制造半导体其实需要一种平衡之道:一方面需要极高的温度,但另一方面又必须处于真空环境中,这样才能避免损坏晶圆。长期以来,我们一直依赖电阻式加热方式,但说实话,这种方式效率很低。为了将温度提升到所需水平,需要消耗大量能源,而且很...
真空室红外加热器
为什么我们如此重视真空加热器中的绝缘性能 当在真空箱内使用红外加热器时,电气故障带来的后果可不是简单的麻烦或时间损失而已。那其实是一种真正的风险。因为在真空中没有空气来帮助散热,情况就会变得不同。哪怕只是微小的电弧,都可能毁掉整个真空箱,或者瞬间烧毁昂贵的加热元件。
为什么我们要对每一只灯管进行测...