MEMS ওয়েফারগুলোকে নিরাপদে শুকিয়ে নেওয়া
MEMS সেন্সর তৈরি করার সময় আপনি চাইবেন না যে কোনো অতিরিক্ত জলবিন্দু বা দ্রাবকের ছাপ আপনার কাজকে নষ্ট করে দেয়। কিন্তু এখানেই সমস্যা রয়েছে—ওয়েফারগুলোকে সম্পূর্ণরূপে শুকিয়ে নিতে হবে; কিন্তু একই সাথে উপাদানটিকে ক্ষতিগ্রস্ত করা বা অপদ্রব্যগুলো ভিতরে ঢুকতে দেওয়া যাবে না।
এজন্যই আমরা শর্ট-ওয়েভ ইনফ্রারেড (IR) হিটার ব্যবহার করি। পুরো ঘরটিকে উত্তপ্ত করার চেষ্টা করার পরিবর্তে—যা সময় ও শক্তির অপচয়—IR হিটারগুলো শক্তিকে সরাসরি ওয়েফারের পৃষ্ঠে পাঠায়। এটা অত্যন্ত কার্যকর।
কেন এটা কার্যকর?
ঐতিহ্যবাহী কনভেকশন ওভেনগুলো তাদের অর্ধেক শক্তি শুধুমাত্র বাতাসকে উত্তপ্ত করতেই ব্যয় করে। এটা অকার্যকর। কিন্তু IR হিটারগুলো ভিন্ন। এগুলো ফোটন পাঠায়; যা জলের অণুগুলোকে কম্পিত করে, ফলে জল দ্রুত বাষ্পীভূত হয়।
যেহেতু তাপ খুবই নির্দিষ্টভাবে পাঠানো হয়, তাই যন্ত্রটি বড় হওয়ার দরকার নেই। আর যেহেতু শিল্পজগৎ VOC ও অতিরিক্ত শক্তি ব্যবহার থেকে দূরে যাচ্ছে, তাই IR হিটারগুলোই সবচেয়ে ভালো বিকল্প। রাসায়নিক ক্যাটালিস্ট বা বড় আকারের এয়ারফ্লো সিস্টেমের দরকার নেই।
নিয়ন্ত্রণের বিষয়টি
শুধুমাত্র তাপ বাড়ানোই যথেষ্ট নয়। তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ করাও জরুরি।
উচ্চ-তীব্রতার ল্যাম্পগুলো প্রক্রিয়াটিকে দ্রুত করতে সাহায্য করে; কিন্তু এখানেও সমস্যা রয়েছে। যদি ল্যাম্পটি ঠিকমতো স্থাপিত না হয় বা পাওয়ার কন্ট্রোল ঠিক না থাকে, তাহলে “হট স্পট” তৈরি হয়। ৩০০ মিমি আকারের ওয়েফারের ক্ষেত্রে এটা ওয়েফারটিকে ক্ষতিগ্রস্ত করে দেয়।
এটা এড়াতে আমরা হিটারগুলোকে নির্ভুল PID কন্ট্রোলারগুলোর সাথে ব্যবহার করি। আমরা সাধারণত ভ্যাকুয়াম বা নিরপেক্ষ গ্যাস ব্যবহার করি, যাতে ওয়েফারটি অক্সিডাইজ না হয়। সবকিছুই নিয়ন্ত্রণের মধ্যেই থাকে।
আপনার লাইনের জন্য উপযোগী করা
আমরা এই সিস্টেমগুলোকে পুরানো থার্মাল ওভেনগুলোর বিকল্প হিসেবে তৈরি করেছি।
আমরা কোয়ার্টজ কভার ব্যবহার করি, যাতে ধাতব আয়নগুলো ওয়েফারে প্রবেশ না করে। ওয়্যারিংগুলোও খুব সহজ। সিস্টেমটি মিলিসেকেন্ডের মধ্যেই চালু/বন্ধ হয়; ফলে ওয়েফারটির তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণে থাকে।
আর যখন কোনো ল্যাম্প নষ্ট হয়ে যায়? তখন পুরো ড্রায়িং লাইনটিকে ভেঙে ফেলার দরকার নেই। শুধুমাত্র ল্যাম্পটি পরিবর্তন করলেই হয়।