আইআর ব্যবহার করে কার্যকর ফোটোরেজিস্ট বেকিং।
লিথোগ্রাফি প্রক্রিয়ায়, বেকিং তাপমাত্রায় ০.৫°C এর পরিবর্তনই যথেষ্ট হয়ে যায় পুরো পণ্যটিকে নষ্ট করার জন্য। “সফট বেকিং” মানে হলো দ্রবণটিকে...
স্পিন কোটার বেক ল্যাম্প
On the lithography floor, the bake isn’t a pause—it’s the line in the sand. Soft bake drives off the photoresist solvent. Hard bake locks in the mask...