Zastavte únik střepů: Udržujte své wafery čisté, když selžou infračervené ohřívače
Buďme upřímní: při zpracování waferů může jeden selhající ohřívač zničit celý váš den – a také celou várku křemíku.
Když pracujete s vysokou mírou zatížení, v podstatě přetěžujete infračervené ohřívače. Pokud se quartzová trubice rozbije, není to tiché selhání – je to chaos. Máte po sobě střepy skla a jiné nečistoty v celé čisté místnosti. Najednou musíte řešit obrovský úklid a spoustu plýtvání penězi.
Jak zabránit selhání
Věnovali jsme hodně času zjištění toho, proč tyto trubice vlastně selhávají. Obvykle je to slabé utěsnění nebo nerovnoměrné zahřívání, co vytváří body napětí.
Abychom to vyřešili, používáme vysoce čistý spájený křemen. Ten lépe snáší tepelnou expanzi. Také si dáváme pozor na umístění vlákna. Tím, že centrujeme tepelné zatížení, snižujeme tlak na koncové kryty. To zabrání „selhání“, které se vyskytuje u levných ohřívačů, které nedokážou odolat teplu.
Příprava na nejhorší
I s tím nejlepším křemenem se mohou věci pokazit. Musíte předpokládat, že se nakonec něco rozbije.
Proto kolem ohřevového prvku umisťujeme fyzickou bariéru – můžete to považovat za speciální štít nebo silikonovou vrstvu s vysokou propustností. Pokud se vnitřní lampa rozbije, štít zachytí střepy. Váš wafery tak zůstanou čisté. Je to vlastně jakási pojistka pro vaši čistou místnost.
Problémy s teplem
Je tu kompromis: chcete rychlé zahřívání, což znamená vysokou hustotu tepla. Ale když do krátké trubice přivedete příliš velký výkon, vznikají „horké body“.
Právě tady mnozí lidé udělají chybu. Pokud nejsou správně nastaveny ventilátory a průtok vzduchu, teplota zůstane na stejné úrovni. Nakonec se poškodí konektory, vzniknou elektrické výboje a všechno se pokazí. Správně nastavte systém odvodu tepla – jinak si jen přivodíte problémy.
Jak to zapnout
Tyto ohřívače jsme udělali jednoduché. Jsou to náhrady, takže nemusíte znovu sestavovat celý systém.
Také jsme posílili kontakty – neuvolní se, když zařízení začne vibrovat. Ještě jeden tip: použijte k nim precizní PID kontrolér. Ten eliminuje výkyvy napětí během spouštění, což je právě ten okamžik, kdy se quartzové trubice obvykle rozbijí.