Warum Gold für Ihre IR-Systeme wichtig ist
Wenn Sie Siliziumwafers erhitzen und dabei Energie verschwenden, haben Sie ein Designproblem. So einfach ist das. Die meisten Standardreflektoren streuen die Energie nur in alle Richtungen. Wir machen es anders: Durch den Einsatz von mit Gold überzogenen Reflektoren in unseren ozeongefreien IR-Lampen stellen wir sicher, dass die Energie tatsächlich auf die Wafer trifft – anstatt die Innenseite der Maschine zu erhiten.
Das Besondere an Gold
Gold ist einfach besser darin, Langwellen- und Mittelwellen-Infrarotstrahlen zu reflektieren. Aluminium wird oft verwendet, weil es günstig ist – doch es bietet nicht die nötige Präzision für hochpräzise Verarbeitungsvorgänge. Unsere goldbeschichteten Reflektoren verringern die Absorptionsverluste. Mehr Photonen gelangen genau dorthin, wohin sie sollen. Das Ergebnis: Eine bessere Fokussierung sowie ein homogeneres Temperaturprofil auf der Waferoberfläche – ohne unerwünschte Kältepunkte.
Ozon vermeiden
Wir filtern außerdem das Emissionsspektrum, um die Wellenlängen auszusortieren, die Ozon erzeugen. Das ist eine große Erleichterung für Ihre Reinraumumgebung. Zudem wird dadurch verhindert, dass die empfindlichen organischen Schichten auf den Wafern zerstört werden. Sie können diese Lampen bei hohen Leistungswerten einsetzen, ohne sich Sorgen um schädliche Stoffe in der Luft machen zu müssen.
Die Herausforderung: Integration
Es gibt jedoch einen Haken: Die Ausrichtung muss perfekt sein. Da die Goldbeschichtung den Strahl so stark fokussiert, kann bereits eine Abweichung von ein paar Millimetern dazu führen, dass es auf dem Substrat zu heißen Punkten kommt. Das möchten Sie natürlich vermeiden. Stellen Sie sicher, dass die Befestigungsvorrichtungen absolut stabil sind – ohne jeglichen Spielraum für Bewegungen.
Hinweis zur Wärmeentwicklung
Diese hochreflektierenden Systeme konzentrieren viel thermische Energie innerhalb des Gehäuses. Wenn Sie die Leistung erhöhen, um die Produktivität zu steigern, müssen Ihre Kühlfans oder -systeme ausreichend leistungsstark sein, um damit umzugehen. Wenn die Umgebungstemperatur außer Kontrolle gerät, verbrennen die Glühfäden schneller.
Wir bauen diese Systeme für Umgebungen, in denen Stillstandszeiten ein Albtraum sind. Verwenden Sie einfach die richtigen Spannungsregler, damit die Glühfäden nicht überhitzt werden. Dann können die goldbeschichteten Reflektoren tausende von Zyklen lang weiterhin funktionieren.