چرا طلا برای سیستمهای مادون قرمز شما اهمیت دارد؟
اگر در حال گرم کردن ویفرهای سیلیکونی هستید و انرژی زیادی هدر میرود، پس مشکلی در طراحی سیستم شما وجود دارد. اکثر منعکسکنندههای استاندارد، انرژی را به همه جا پخش میکنند. ما روش متفاوتی را به کار میبریم؛ با استفاده از منعکسکنندههای پوشیده شده با طلا در لامپهای مادون قرمز بدون ازن، مطمئن میشویم که انرژی دقیقاً به ویفر برخورد کند و فقط داخل دستگاه گرم نشود.
ویژگیهای طلا
طلا در بازتاب امواج مادون قرمز بلند و متوسط عملکرد بهتری دارد. از آلومینیوم نیز برای این منظور استفاده میشود، اما قیمت آن ارزان است و دقت لازم برای فرآیندهای با تراکم بالا را ندارد. لایههای طلا موجب کاهش اتلاف انرژی میشوند؛ در نتیجه، فوتونها دقیقاً به جایی که باید میروند. نتیجه آن، تمرکز انرژی بهتر و توزیع یکنواخت حرارت در سراسر ویفر است؛ هیچ نقطه سردی وجود نخواهد داشت.
جلوگیری از ایجاد ازن
ما همچنین طیف تابش را فیلتر میکنیم تا طولموجهایی که باعث ایجاد ازن میشوند، حذف شوند. این کار برای محیطهای پاک، بسیار مفید است. علاوه بر این، این روش از تخریب لایههای حساس روی ویفر جلوگیری میکند. شما میتوانید از این لامپها در شرایطی با تراکم انرژی بالا استفاده کنید، بدون نگرانی درباره ایجاد مواد خطرناک در هوا.
چالشهای مربوط به یکپارچهسازی
البته، یک چالش وجود دارد: باید محل قرارگیری لامپها را دقیقاً تنظیم کنید. از آنجایی که لایه طلا باعث تمرکز انرژی میشود، حتی کمی انحراف در محل قرارگیری لامپ، میتواند باعث ایجاد نقاط گرم در ویفر شود. شما نمیخواهید چنین اتفاقی رخ دهد؛ بنابراین باید مطمئن شوید که قطعات مربوط به نصب لامپها کاملاً ثابت هستند و هیچ فضایی برای حرکت وجود ندارد.
مسئله گرما
این سیستمهای با بازتاب بالا، مقدار زیادی انرژی حرارتی را در داخل دستگاه تجمع میدهند. اگر برای افزایش سرعت فرآیند، توان لامپها را افزایش دهید، فنهای خنککننده باید به اندازه کافی قوی باشند تا بتوانند این انرژی را مدیریت کنند. اگر گرمای محیط کنترل نشود، فیلامنتهای لامپها سریعتر خراب خواهند شد.
ما این لامپها را برای محیطهایی طراحی کردهایم که در آنها، توقف فرآیند یک فاجعه است. کافی است از رگولاتورهای ولتاژ مناسب استفاده کنید تا فیلامنتها دچار مشکل نشوند؛ در این صورت، این منعکسکنندههای طلا میتوانند هزاران بار کار کنند.