क्लास 100 क्लीनरूम को वाकई में साफ रखना
जब आप सेमीकंडक्टर वेफरों को गर्म कर रहे होते हैं, तो केवल थर्मोस्टेट के बारे में ही चिंता करना पर्याप्त नहीं है। क्लास 100 वाले वातावरण में, हीटिंग एलिमेंट से निकलने वाला थोड़ा सा भी धूल का कण पूरे उत्पादन को नष्ट कर सकता है। यह वाकई एक बड़ी समस्या है।
इसीलिए हम अपने IR लैंपों में उच्च-शुद्धता वाले सिंथेटिक क्वार्ट्ज का ही उपयोग करते हैं। सामान्य काँच या सस्ती सामग्रियाँ ऐसे कामों के लिए उपयुक्त नहीं हैं। गर्मी के कारण ऐसी सामग्रियों से धूल के कण निकल सकते हैं, और आप तो ऐसे कणों के अपने वेफरों पर जमने की संभावना को बिल्कुल भी नहीं चाहेंगे।
हम उच्च-शुद्धता वाले क्वार्ट्ज का उपयोग क्यों करते हैं?
हम इन लैंपों को शॉर्टवेव IR विकिरण हेतु ही उपयोग में लाते हैं। इसका उद्देश्य गर्मी को सीधे वेफर तक पहुँचाना है। यदि आप कन्वेक्शन का उपयोग करते हैं, तो वायु में मौजूद कण भी वेफरों तक पहुँच सकते हैं। फ्यूज्ड क्वार्ट्ज का उपयोग करने से गर्मी केंद्रित रहती है, एवं लैंप की संरचना भी स्थिर रहती है।
आप अपने पास उपलब्ध स्थान के आधार पर वॉटेज एवं वोल्टेज को समायोजित कर सकते हैं। लेकिन ध्यान रखें: यदि आप अधिक गर्मी प्राप्त करने हेतु उच्च वॉटेज का उपयोग करते हैं, तो आपके कूलिंग फैनों को भी उचित रूप से काम करना होगा। यदि लैंप के आसपास का वातावरण बहुत गर्म हो जाता है, तो लैंप जल्दी ही खराब हो जाएगा।
क्लीनरूम हेतु लैंप का निर्माण
हमने चिपकने वाली सामग्रियों एवं कार्बनिक कोटिंगों का उपयोग ही नहीं किया। क्यों? क्योंकि गर्मी के कारण ऐसी सामग्रियाँ धूम्रिल हो जाती हैं, एवं टूट भी जाती हैं। इसके बजाय हमने सीलिंग के लिए विशेष तकनीकों का ही उपयोग किया। ऐसा करने से कोई गंदगी नहीं रहती, एवं कोई वोलेटाइल ऑर्गेनिक कंपाउंड भी बाहर नहीं निकलता।
एक बात ध्यान में रखने योग्य है – वायरिंग। यहीं पर आमतौर पर समस्याएँ होती हैं। हम प्रीसिजन टर्मिनलों का ही उपयोग करते हैं, ताकि कनेक्शन मजबूत रहे। यदि कनेक्शन ढीला हो जाता है, तो वहाँ एक “हॉटस्पॉट” बन जाता है। ऐसे हॉटस्पॉट से क्वार्ट्ज टूट सकता है, एवं इससे क्लीनरूम की अखंडता भी खत्म हो जाती है।
कठिनाइयाँ
उच्च-शुद्धता वाला क्वार्ट्ज बहुत ही भंगुर होता है। बोरोसिलिकेट की तुलना में यह थर्मल शॉक को बेहतर तरीके से सहन कर सकता है, लेकिन यदि इसे इंस्टॉल करते समय ठोकर लग जाए, तो यह टूट जाएगा।
हमेशा वैक्यूम-सुरक्षित दस्तानों का ही उपयोग करें।
क्वार्ट्ज पर थोड़ा सा भी त्वचा का तेल रह जाए, तो वह कार्बन के रूप में जम जाएगा। ऐसे हॉटस्पॉट से लैंप खराब हो जाएगा। यह तो एक छोटी सी गलती है, लेकिन इसके कारण बड़ी समस्याएँ हो सकती हैं।