क्लास 100 क्लीनरूम को वाकई में साफ रखना जब आप सेमीकंडक्टर वेफरों को गर्म कर रहे होते हैं, तो केवल थर्मोस्टेट के बारे में ही चिंता करना पर्याप्त नहीं...

लिथोग्राफी प्रक्रिया में, बेकिंग तापमान में 0.5°C का ही अंतर पूरे उत्पादन सेट को नष्ट करने के लिए पर्याप्त है। “सॉफ्ट बेक” का उद्देश्य विलायकों को...