クラス100のクリーンルームを実際に清潔な状態に保つためには、サーモスタットだけに頼ってはいけません。クラス100の環境では、加熱要素から出るごくわずかなほこりが、全体の製品を台無しにしてしまう可能性があります。これは本当に厄介な問題です。
そのため、私たちはIRランプに高純度の合成石英を使用しています。一般的なガラスや安価な素材では不十分です。高温になると、そうした素材からガスやほこりが発生するため、それらがウェハーに付着しないようにしなければなりません。
なぜ高純度の石英を使うのか？
私たちは、短波長のIR光を放出するようにこのランプを設計しています。目的は、熱を直接ウェハーに伝えることです。対流に頼ると、空気が乱れてほこりが舞い上がってしまいます。融合石英を使用することで、熱を集中させ、筐体を安定させることができます。
使用するワット数や電圧は、利用可能なスペースに応じて調整できます。ただし、より多くの熱を得るために高いワット数を選ぶ場合は、冷却ファンが十分に機能するか確認してください。筐体周辺が過度に熱くなると、ランプは予想よりも早く壊れてしまいます。
クリーンルーム向けに作る際の注意点
接着剤や有機塗料は一切使用しません。なぜかというと、高温になるとこれらは煙を発生させ、分解してしまうからです。代わりに、密封部分を溶接して固定します。接着剤もないし、汚れも出ず、温度上昇時に揮発性有機化合物も漏れ出しません。
注意すべき点は配線です。ここが問題になることがよくあります。私たちは高精度の端子を使用して、しっかりと接続します。接続が緩むと、ホットスポットができてしまい、それによって石英が割れてしまいます。そうなると、真空状態やクリーンルームの環境が崩れてしまいます。
難しい点
高純度の石英は壊れやすいという欠点があります。硼珪酸ガラスよりは耐熱性がありますが、取り付け時に衝撃を与えると割れてしまいます。
必ず真空対応の手袋を着用してください。 石英にわずかでも皮脂が残っていると、炭素の斑点ができてしまいます。その斑点が新たなホットスポットを作り、最終的にはランプが壊れてしまいます。これは小さなミスが大きな問題につながる典型的な例です。