반도체 레이저 다이오드 히터
공장 내에서는, 포토레지스트를 가열하는 온도가 0.2°C만 변동해도, 그로 인해 CD의 균일성과 생산성이 저하됩니다. 이러한 변동은 수치상으로는 드러나지 않을 수 있습니다. 우리는 이러한 변동이 발생하는 것을 막기 위해 반도체 레이저 다이오드 히터를 개발했습니다. 왜...
IR 램프용 알루미늄 반사판
리소그래피 공정에서는 알다시피, 포토레지스트를 가열할 때 웨이퍼가 반도 정도만 이동해도 안정적인 공정이 문제가 될 수 있습니다. 그래서 부드러운 가열과 강력한 가열 조건을 엄격하게 관리하는 것입니다. 온도의 균일성이 바로 선의 두께를 결정하기 때문입니다. 그리고 이러...
마이크로 LED 웨이퍼 건조 히터
마이크로 LED 웨이퍼가 최종 세척 과정을 거친 뒤 그대로 있으면서 건조를 기다리는 모습을 볼 수 있습니다. 생산 라인에서는 상황이 얼마나 빠르게 악화될 수 있는지 알 수 있습니다. 히터의 온도가 단 몇 십분의 1도라도 변동하면, 웨이퍼 가장자리에 물방울이 맺히고,...
에코 모드 히터
수출 주문서가 책상 위에 놓여 있습니다. 문제는 간단합니다. 적외선 히터에 대한 수요가 급증하는 상황에서 어떻게 대응할 것인가 하는 것입니다. 시장은 빠르게 변화하고 있으며, 구매자들은 효율적이고 안전하며 사용하기 편리한 난방 장치를 원합니다. 바로 이점에서 우리의...
에어 나이프 장치가 내장된 적외선 램프
리소그래피 공정에서는 온도가 0.5°C만 변해도 치명적인 결과가 발생합니다. 단 몇 나노미터의 오차로도 웨이퍼의 형상이 변하게 되죠. 이는 엄청난 양의 폐기물을 초래합니다. 그래서 우리는 적외선 램프와 에어 나이프 장치를 함께 사용하여 열이 웨이퍼 전체에 균일하게 분...
웨이퍼 건조를 위한 적외선 방식과 대류 방식의 비교
팹 내에서는 열 오차란 협상의 대상이 될 수 있는 ‘허용 범위’가 아닙니다. 포토레지스트를 소프트 베이크하는 동안 0.5°C만큼의 온도 변화라도 있으면 치명적인 문제가 발생할 수 있습니다. 또한 청소 후에 남은 약간의 수분도 다음 리소그래피 공정에서 문제를 일으킬 수...
세정 후 웨이퍼용 적외선 히터
팹에서는, 세정 후에 남은 약간의 수분과 자연적으로 다시 형성된 산화물들이 사람이 눈치채기도 전에 포토레지스트의 점착력을 떨어뜨립니다. 조금만 온도가 변해도, 혹은 특정 부위의 온도가 높아져도 소프트 베이크 과정에 문제가 생깁니다. 그 결과로 에칭 후에 웨이퍼의 강도...
글로벌 반도체 장비 무역
생산 현장에서는 온도를 조절하는 것이 아니라, 일정한 수준을 유지해야 합니다. 0.5°C의 온도 변화만으로도 웨이퍼의 두께가 달라질 수 있습니다. 히터에서 발생하는 입자들도 웨이퍼를 손상시킬 수 있습니다. 반도체 제조 장비에서는 열 관리 시스템이 수율, 가동률, 그리...
고출력 전기 히터
샤워를 마치고 여전히 습하고 차가운 욕실로 나오는 것은 불편할 뿐만 아니라, 긴장감을 유발하고 몸이 추위에 떨리게 만듭니다. 어떤 크기의 욕실이든 문제는 단순히 온도가 낮은 것이 아니라, 온도가 빠르게 오르면서도 일정하게 유지되며 에너지가 낭비되지 않는 것입니다. 그...
코팅기 개발용 적외선 히터
리소그래피 공정에서는, 소프트 베이크나 하드 베이크 과정에서 0.5°C의 온도 변동도 결코 ‘작은 편차’가 아닙니다. 이는 생산성 저하로 이어지며, CD 균일성 그래프나 스크랩 트레이를 통해 명확하게 확인할 수 있습니다. 코팅기/개발기의 적외선 히터는 광학 장치와 포...
타워 히터
새롭게 리모델링된 욕실을 상상해보세요. 깔끔한 선들과 프레임이 없는 유리, 그리고 조용하고 깨끗한 열기를 제공하는 천장 구조가 특징입니다. 전통적인 전구형 히터는 너무 밝고 거친 느낌을 주며, 욕실의 분위기나 재료와도 잘 어울리지 않습니다. IP 등급의 보호 기능이...
IR을 활용한 효과적인 포토레지스트 건조
리소그래피 공정에서는, 베이킹 온도가 0.5°C만 변동해도 전체 생산량이 폐기되는 경우가 있습니다. 소프트 베이킹은 용매를 깨끗하게 제거하는 과정이며, 하드 베이킹은 프로파일을 고정시키는 과정입니다. 열 분포에 문제가 생기면 CD 제어가 제대로 이루어지지 않고, 입자...
사무용 책상 히터
차가운 손과 경직된 어깨는 단순히 방해가 되는 것뿐만 아니라, 활동 속도를 늦추기도 합니다. 일반적인 책상용 히터는 마치 뜨거운 공기를 불어넣는 것과 같아서 피부를 건조하게 만들 뿐, 실제로 몸의 중심부까지 따뜻해지지 않습니다. 우리는 이 사무용 책상용 히터에 있어서...
CE 인증 전기 히터
추운 저녁에는 거실이 단순 통과 공간으로 변하기 쉽다. 두꺼운 옷을 입고 열원에 더 가까이 이동하지만 손과 발에서는 여전히 냉기가 느껴진다. 적외선 전기 히터는 표면적인 따뜻함을 넘어서 신체 중심의 온기를 제공한다.
기술적으로 중요한 것은 복사열의 물리학이다. 적외선...
파브 IR용 전압 조절기
Fab 공정 현장에서 포토레지스트 베이크는 선택이 아닌 필수 공정이다. 웨이퍼 전체에서 0.5°C의 온도 변화는 노광 후 선폭 변화로 나타나며, 이는 직관적으로 수율 저하로 이어진다. 우리는 fab IR용 전압 조절기를 설계하여 열 프로파일이 안정적이고 재현 가능하며...