IR 램프용 알루미늄 반사판

리소그래피 공정에서는 알다시피, 포토레지스트를 가열할 때 웨이퍼가 반도 정도만 이동해도 안정적인 공정이 문제가 될 수 있습니다. 그래서 부드러운 가열과 강력한 가열 조건을 엄격하게 관리하는 것입니다. 온도의 균일성이 바로 선의 두께를 결정하기 때문입니다. 그리고 이러...