반도체 청정실용 트롤리 히터

왜 클린룸 트롤리에 강제 공기 순환 방식을 사용하지 말아야 하는가? 반도체 정밀 가공 라인에서 일해본 사람이라면 잘 알고 있을 것입니다. 대부분의 설비들은 웨이퍼나 기판이 이동하는 동안 적절한 온도를 유지하기 위해 열공기 순환 방식을 사용합니다. 물론 이 방식도 효과...