Hentikan penggunaan haba yang berlebihan: Cara yang lebih efisien untuk memproses wafer
Mari kita bincangkan tentang ketuhar jenis resistif yang digunakan sebelum ini. Memang ia berfungsi, tetapi pada dasarnya ia hanyalah alat pemanas yang besar. Anda perlu mengeluarkan banyak wang untuk memanaskan seluruh bilik serta udara di dalamnya, semata-mata untuk membawa wafer ke suhu yang tepat. Ini merupakan pembaziran tenaga.
Itulah sebabnya kami beralih kepada kaedah pemanasan menggunakan sinar inframerah (IR). Daripada memanaskan seluruh bilik, haba diarahkan terus ke wafer. Kaedah ini lebih efisien, cepat, dan tidak menyebabkan pembaziran tenaga yang tidak perlu.
Mencapai suhu yang tepat
Dalam bidang ini, jika suhu tidak tepat walaupun sedikit sahaja, maka sejumlah besar silikon akan menjadi bahan buangan yang bernilai rendah. Itu merupakan situasi yang sangat buruk yang tiada siapa yang ingin alami.
Kami menggunakan radiasi gelombang pendek untuk meningkatkan suhu wafer dalam masa beberapa saat sahaja. Kerana ia merupakan haba radiatif, maka tiada tenaga yang dibazirkan untuk memanaskan badan alat tersebut. Kami sangat memperhatikan nisbah watt per sentimeter, kerana kami ingin agar suhu yang dihasilkan adalah sekata, tanpa adanya kawasan panas atau kejutan suhu.
Komponen yang digunakan
Alat-alat ini dibina menggunakan filamen tungsten dan kuarsa berkualiti tinggi. Namun, ada satu tip penting: kami melapiskan lapisan khusus pada kuarsa tersebut. Mengapa? Kerana kami ingin agar wafer menyerap tenaga tersebut, bukannya memantulkannya kembali seperti cermin.
Kami juga menggunakan kawalan PID yang berfungsi dengan cepat. Dengan cara ini, anda boleh meningkatkan atau mengurangkan suhu dengan segera. Ini menjadikan prosesnya lebih efisien dan terkawal.
Cabaran dan cara mengatasinya
Terdapat kelemahan pada kaedah ini. Alat pemanasan IR yang berkuasa tinggi memerlukan sistem penyejukan yang kuat. Jika sistem penyejukan tidak mencukupi, badan alat akan menjadi terlalu panas. Akibatnya, sensor-sensor akan rosak atau filamen akan terbakar. Anda perlu memastikan sistem penyejukan mampu mengimbangi intensiti haba yang dihasilkan.
Namun, ganjarannya memang berbaloi. Dengan mengurangkan pembaziran tenaga, bil elektrik akan berkurangan, dan jejak karbon pun akan berkurangan. Anda akan mendapat kilang yang “hijau” yang berfungsi dengan baik, tanpa perlu mengorbankan ketepatan yang diperlukan agar cip dapat berfungsi dengan baik.