
Şarapnelin etkisini durdurun: Kızılötesi ısıtıcılar arızalandığında waferlerinizi temiz tutun
Dürüst olalım: Wafer işleme sürecinde, bir lambanın arızalanması tüm gününüzü mahvedebilir. Hatta tüm silikon ürünleriniz de boşa gidebilir.
Yüksek kapasiteli üretim yaparken, kızılötesi lambaları aşırı yük altında bırakmış olursunuz. Eğer kuvars tüpü arızalanırsa bu sessiz bir arıza değildir; büyük bir karmaşa ortaya çıkar. Temiz odada cam parçaları ve partiküller uçuşur ve böylece büyük bir temizlik işiyle karşı karşıya kalırsınız ve çok fazla para harcamış olursunuz.
Arızaları nasıl engelliyoruz?
Bu tüplerin neden arızalandığını anlamak için çok zaman harcadık. Genellikle zayıf bir sızdırmazlık veya düzensiz ısı dağılımı nedeniyle stres noktaları oluşur. Bunu düzeltmek için yüksek saflıkta füzyon kuvarsı kullanıyoruz. Bu malzeme ısı genişlemesine daha iyi dayanır. Ayrıca filamanın yerleştirildiği yere de dikkat ediyoruz. Isı yükünü merkeze alarak uç kapaklardaki baskıyı azaltıyoruz. Böylece ucuz lambalarda görülen “yanma” durumu önlenmiş olur.
En kötü durum için planlama
Dünyanın en kaliteli kuvarsları olsa bile bazı sorunlar yaşanabilir. Sonuçta bir şeylerin bozulacağını varsaymak zorundayız. İşte bu yüzden ısıtıcı elemanın etrafına fiziksel bir bariyer koyuyoruz. Bu bariyer, özel bir koruma önlemi veya yüksek geçirgenlikli bir kuvars kılıfı gibidir. Eğer içerideki lamba patlarsa, bu bariyer parçaları yakalar. Böylece waferleriniz temiz kalır. Bu aslında temiz odanız için bir sigorta poliçesidir.
Isı ile ilgili zorluklar
İşte burada bir denge sorunu var: Hızlı ısınma süreleri istiyorsunuz, bu da yüksek ısı yoğunluğu anlamına gelir. Ancak çok fazla gücü kısa bir tüpe yüklerseniz ısıda dengesizlikler oluşur. Bu da birçok insanın başına dert olur. Eğer soğutma fanları ve hava akışı doğru ayarlanmazsa, ortamdaki ısı orada kalır. Zamanla konektörler bozulur, elektriksel arklar meydana gelir ve her şey altüst olur. Eksüzyon sistemini doğru ayarlamazsanız, sadece sorun yaratmış olursunuz.
Lambaları nasıl çalışır hale getiriyoruz?
Bu lambaları mümkün olduğunca basit hale getirdik. Bunlar yerine takılabilen parçalar olduğundan, tüm sistemi yeniden kurmanıza gerek yok. Ayrıca kontak noktalarını da güçlendirdik. Makine titreştiğinde bu kontak noktaları gevşemez. Son bir tavsiye: Bunları hassas bir PID kontrol cihazıyla kullanın. Bu sayede başlangıç sırasındaki voltaj dalgalanmaları önlenmiş olur. Çünkü kuvars tüpleri genellikle başlangıç sırasında hasar görür.