MEMS yongalarını sorunsuz bir şekilde kurutmak
MEMS sensörleri üretirken en son isteyeceğiniz şey, bir damla nemin veya çözücünün ürününüzü bozmasıdır. Ancak işin zor kısmı şu: Yongaların tamamen kuru olmasını sağlamak gerekir; ancak bu sırada malzemenin zarar görmemesi ve yabancı maddelerin içine sızmaması gerekiyor.
İşte bu yüzden kısa dalga boylu kızılötesi (IR) ısıtıcılar kullanıyoruz. Tüm odayı ısıtmaya çalışmak zaman ve enerji israfıdır; oysa IR ısısı doğrudan yonga yüzeyine iletilir. Bu yöntem hem etkili hem de temizdir.
Nasıl işe yarıyor?
Geleneksel konveksiyon fırınlarını düşünün. Enerjilerinin yarısını sadece havayı ısıtmak için harcarlar. Bu oldukça verimsizdir. IR ise farklıdır; su moleküllerini titreten fotonlar gönderir ve böylece hızlı bir buharlaşma süreci başlar. Isının bu kadar odaklanmış olması sayesinde ekipmanın büyük olmasına gerek yoktur. Ayrıca, endüstrinin VOC’lerden ve fazla enerji tüketen sistemlerden uzaklaştığı günümüzde IR teknolojisi oldukça mantıklıdır. Kimyasal katalizörler veya parçacıkların yanlış yerlere sızmasına neden olan devasa hava akış sistemlerine de gerek yoktur.
Dengeyi sağlamak
Sadece ısının artırılması yeterli değildir. Sıcaklık kontrolüne de dikkat etmek gerekir. Yüksek yoğunluklu lambalar süreci hızlandırmak için iyidir, ancak bir dezavantajları vardır: Lambanın yerleştirilmesi yanlış olursa veya güç kontrolü düzgün yapılmazsa “sıcak noktalar” oluşur. 300 mm’lik bir yongada bu durum, hassas MEMS yapılarının hasar görmesine neden olabilir. Bunu önlemek için ısıtıcıları hassas PID kontrol cihazlarıyla bir araya getiriyoruz. Ayrıca genellikle vakum veya inert gaz kullanarak yonganın oksitlenmesini engelliyoruz. Her şey kontrolle ilgilidir.
Ürününüzün ihtiyaçlarına uygun hale getirmek
Bu sistemleri, eski ve karmaşık termal fırınların basit bir alternatifi olarak tasarladık. Metal iyonlarının yongalara bulaşmasını engellemek için kuvars kaplamalar kullanıyoruz. Kablolama da oldukça etkilidir. Sistem milisaniyeler içinde açılıp kapanabiliyor; bu sayede yonganın hedef sıcaklığı aşmasından endişelenmenize gerek kalmaz. Bir lamba bozulduğunda ise tüm kurutma sisteminin sökülmesine gerek yoktur. Sadece modülü değiştirerek tekrar çalışmaya devam edebilirsiniz.