
Hãy ngừng lãng phí năng lượng trong các hệ thống sấy trong nhà máy sản xuất semiconductors của bạn đi. Hãy thừa nhận rằng việc lãng phí năng lượng chính là việc vứt bỏ tiền bạc một cách vô ích. Điều này ảnh hưởng nghiêm trọng đến chi phí vận hành của bạn.
Vấn đề nằm ở chỗ hầu hết các loại phản xạ quang thông dụng hiện nay đều kém hiệu quả. Chúng lan tỏa năng lượng hồng ngoại ra khắp mọi nơi, khiến một lượng lớn năng lượng mà bạn trả tiền để mua lại không thể tác động lên wafer được.
Chúng tôi đã giải quyết vấn đề này bằng cách sử dụng các phản xạ quang được phủ bằng vàng có độ tinh khiết cao. Thay vì để năng lượng lan tỏa lung tung, chúng ta có thể tập trung năng lượng đó vào mục tiêu cần thiết.
Tại sao lại chọn vàng? Hầu hết mọi người đều sử dụng nhôm, nhưng nhôm lại hấp thụ quá nhiều năng lượng và phản xạ phần còn lại theo nhiều hướng khác nhau. Vàng thì khác. Nó có khả năng phản xạ ánh sáng hồng ngoại một cách hiệu quả.
Thay vì để nhiệt lượng bị hấp thụ bởi các bức tường của buồng sấy, năng lượng sẽ được tập trung vào wafer. Nhờ đó, bạn có thể sử dụng ít năng lượng hơn nhưng vẫn đạt được hiệu quả cao.
Làm thế nào để kiểm soát nhiệt độ? Khi bạn tập trung năng lượng một cách hiệu quả, bạn có thể đạt được nhiệt độ sấy mong muốn nhanh hơn. Nhưng bạn không thể để nhiệt độ quá cao.
Nếu nhiệt độ không được phân bố đều trên toàn bộ bề mặt wafer, sẽ xuất hiện những điểm nóng. Những điểm nóng này sẽ khiến silicon bị biến dạng. Chúng tôi dành nhiều thời gian để đảm bảo rằng năng lượng được phân bố đều, từ đó giúp bạn đạt được tốc độ sấy cao mà không gặp rủi ro.
Nhược điểm và cách khắc phục Vấn đề là các lớp phủ vàng khá quý giá. Chúng không thể chịu đựng được tác động của các chất hóa học ăn mòn hoặc quá trình làm sạch cứng nhắc.
Nếu nhà máy của bạn có nhiều hơi hóa chất, bạn cần sử dụng lớp bảo vệ bằng thạch anh. Hãy coi đó như một “áo mưa” bảo vệ các lớp phản xạ quang. Nếu không có lớp bảo vệ này, các chất bẩn sẽ bám vào lớp vàng, làm giảm khả năng phản xạ ánh sáng. Kết quả là bạn sẽ phải tăng công suất để đạt được hiệu quả như ban đầu.
Làm thế nào để tận dụng lợi ích của việc sử dụng phản xạ quang phủ vàng? Việc thay thế các phản xạ quang thông thường bằng phản xạ quang phủ vàng là cách đơn giản để giảm mức tiêu thụ năng lượng mà vẫn duy trì được hiệu suất sấy. Ngoài ra, điều này cũng giúp giảm áp lực lên hệ thống làm mát của nhà máy.
Nếu bạn chưa chắc chắn về tình hình hiện tại của mình, có lẽ bạn nên kiểm tra lại các bộ đèn sấy. Có lẽ bạn sẽ nhận ra rằng các phản xạ quang hiện tại của bạn đang hấp thụ quá nhiều năng lượng, trong khi chúng chỉ cần dùng để sấy wafer mà thôi.