如何保持100级洁净室的清洁状态
在加热半导体晶圆时，不能只考虑恒温器的问题。在100级洁净环境中，哪怕有一粒微小的灰尘从加热元件上飞出，都可能毁掉整批产品。这简直就是一场噩梦。 因此，我们选择使用高纯度的合成石英来制作红外灯。普通的玻璃或廉价材料根本无法满足要求——因为它们在高温下容易释放气体或产生碎屑，而这些碎屑很可能会附着在晶圆上。
为什么选择高纯度石英
我们设计的这些灯具是为了产生短波红外辐射。这样做的目的是让热量直接作用于晶圆上。如果依赖对流方式来传递热量，那么空气中的颗粒物就会随之移动，从而影响晶圆的质量。而使用熔融石英材质则可以确保热量集中，同时保持灯具结构的稳定性。
您可以根据实际空间大小调整灯具的功率和电压。不过需要注意：如果为了获得更高的热量密度而增加功率，那么必须确保冷却风扇能够跟上节奏。否则，灯具周围的温度会过高，从而导致灯具过早损坏。
为洁净室量身定制的灯具
我们摒弃了粘合剂和有机涂层。因为这些材料在高温下会释放烟雾并分解。相反，我们采用密封方式来固定部件。这样一来，既没有胶水残留，也不会有挥发性有机化合物泄漏出来。
需要注意的是电路连接部分。这通常是出现问题的地方。我们使用精密端子来确保连接紧密且防漏气。如果连接不牢固，就会形成热点，进而导致石英破裂，最终让整个真空或洁净室的环境遭到破坏。
挑战所在
高纯度石英虽然耐热性较好，但它仍然比较脆弱。如果在安装过程中不小心碰撞到它，它就可能会破裂。 务必使用适合在真空环境下使用的手套。 即使是少量的皮肤油脂留在石英表面，也可能会形成碳化点。这些碳化点会形成新的“热点”，最终导致灯具失效。这其实是个小错误，但却可能带来严重后果。