涂层显影用红外线加热器

在光刻工艺中，无论是在软烘烤还是硬烘烤过程中，0.5°C的温差都绝非“微小的偏差”。这样的偏差会导致产品良率下降，这一点从CD均匀性图表以及废品数量上就能看出来。因此，涂胶/显影工序中的红外加热器必须与光学系统及光阻材料保持热稳定性。 我们设计的加热器具备晶圆级控制功能。红外光源可直接将能量传递给...