在晶圆制造过程中，光刻胶烘烤过程中的温度偏差并非单纯的理论问题，而会直接影响产品良率。0.5℃的温度变化都可能改变关键尺寸，而那些不断试图调整到设定温度的灯光设备，则会占用大量时间。因此，我们设计了SCR电源调节器，以从源头消除这种不确定性。 从技术角度来看，该调节器的核心在于其相位角控制功能以及...

在生产车间，光刻胶烘烤不是可选的——这是你必须遵循的公差。晶圆上的0.5°C漂移在曝光后会表现为线宽变化，这直接导致产量损失，简单明了。我们为生产线红外（IR）设计了电压调节器，以保持热配置在所需的状态：稳定、可重复且可控。 技术上重要的内容 红外加热快，没错，但只有当热场均匀时才有用。我们的调节...