Mehr Wärme genau dort, wo sie wirklich gebraucht wird: Mit Gold beschichtete IR-Emitter Wenn man Siliziumwafers erhitzt, zählt jede Energieeinheit....

Aufhören mit dem Heizen der Luft – eine intelligente Methode zur Bearbeitung von Wafern Sprechen wir über die alten Widerstandsofen. Sie...

Auf der Lithografieanlage gilt es, bestimmte Standards einzuhalten. Schon eine Abweichung von einem halben Grad während des Trocknungsprozesses des...

Auf der Lithografieebene reicht bereits eine Abweichung der Backtemperatur um 0,5 °C aus, um ganze Chargen unbrauchbar zu machen. Bei der sanften...

Auf dem Fertigungsboden ist das Backen von Fotolack nicht optional – es ist eine Toleranz, nach der man lebt. Eine Drift von 0,5°C über den Wafer...