میتوانید ببینید که چگونه ویفرهای میکرو-LED پس از شستشوی نهایی، در آنجا قرار میگیرند تا خشک شوند. در خط تولید، میدانید که چقدر سریع میتواند اوضاع به هم بریزد. اگر دمای هیتر حتی چند دهم درجه تغییر کند، رشتههای کوچکی روی لبههای ویفر باقی خواهد ماند؛ الگوهای فوتورزیست نیز تغییر خواهند کرد. ما هیتر خشککن ویفرهای میکرو-LED را طوری طراحی کردهایم که این نوسانات را از بین ببرد.
چه چیزهایی مهم هستند؟
این دستگاه از عناصر مادون قرمز کوتاهامواج در پشت پنجرههای کوارتزی استفاده میکند؛ بنابراین گرمایش سریع و یکنواخت ایجاد میشود. یکنواختی دما در سطح ویفر در حد ±۰.۱ درجه سانتیگراد است. این موضوع باعث میشود که رشتههای کوچک روی لبههای ویفر کاملاً از بین بروند و الگوهای فوتورزیست نیز در هر بار تولید یکسان باقی بمانند.
این دستگاه برای استفاده در اتاقهای پاک کلاس ۱ تا ۱۰۰ طراحی شده است؛ موادی با میزان گازخروجی کم و مسیر جریان هوایی که باعث تحریک ذرات نمیشود، در این دستگاه استفاده شده است. ما به دنبال شعار نیستیم؛ ما به دنبال صفر ذره در فرآیند تولید هستیم. این هیتر میتواند مستقیماً در دستگاههای خشککن قرار گیرد؛ همچنین از ولتاژهای استانداردی استفاده میکند و فضای کافی برای استفاده از رباتها و ابزارهای اندازهگیری نیز وجود دارد.
چرا این دستگاه برای تولید میکرو-LED مناسب است؟
در تولید میکرو-LED، محدودیتهای حرارتی زیادی وجود دارد و هیچ ظرفیتی برای آلودگی وجود ندارد. این دستگاه دمای لازم برای خشککردن ویفر را در طول فرآیند حفظ میکند؛ بنابراین نوسانات حرارتی باعث اختلال در کیفیت تولید نمیشود. وقتی فرآیند تولید یکنواخت باشد، زمان لازم برای تولید کاهش مییابد و میزان کالاهای باکیفیت نامناسب نیز کاهش مییابد.
مصرف انرژی نیز کاهش مییابد؛ زیرا این سیستم تنها ناحیه مورد نظر را گرم میکند و به سرعت بین بارهای مختلف تغییر میکند. قابلیت اطمینان این دستگاه برای کار ۲۴/۷ وجود دارد؛ قطعات مورد استفاده نیز برای عمر طولانی و زمان تعمیرات قابل پیشبینی انتخاب شدهاند؛ بنابراین وقفههای غیرمنتظره در کار کمتر خواهد بود.
نکاتی درباره استفاده از این دستگاه:
بهترین عملکرد را زمانی خواهید داشت که مسیر خروجی گاز با مسیر لولههای دستگاه هماهنگ باشد. عدم هماهنگی فشار برگشتی باعث طولانی شدن زمان خشککردن ویفر میشود؛ همچنین میتواند بر کیفیت ویفر تأثیر منفی بگذارد. برای نصب این دستگاه، باید اندازه چاک و رابطات اتصال آن با پلتفرم مورد استفاده هماهنگ شود.
فرآیند تنظیمات اولیه دستگاه نیز زمان کوتاهی در بر میگیرد؛ پس از آن، فرآیند تولید با حداقل وقفه انجام خواهد شد.