परिचय
दरअसल, यदि आप अलीबाबा से ऐसे उत्पाद खरीदना चाहते हैं, जो विश्वसनीय रूप से ऊष्मा प्रदान कर सकें, तो आप हम पर भरोसा कर सकते हैं। हमारे द्वारा निर्मित RTP लैंप, सेमीकंडक्टर उत्पादन प्रक्रियाओं हेतु उपयोग में आते हैं; ऐसी प्रक्रियाओं में तापमान में केवल 0.1°C का ही अंतर स्वीकार्य है।
ये लैंप हैलोजन आधारित हैं, एवं इनका वोल्टेज/शक्ति स्तर, वेफर की आवश्यकताओं के अनुरूप होता है। इनका उपयोग करने में कोई परेशानी नहीं है… बस प्रदर्शन ही महत्वपूर्ण है।
तकनीकी विवरण
RTP लैंपों में गति एवं स्थिरता ही सबसे महत्वपूर्ण विशेषताएँ हैं। हमारे लैंपों में उच्च-घनत्व वाला हैलोजन हीटिंग सिस्टम है; इस कारण तापमान में परिवर्तन होने पर तुरंत ही ऊष्मा प्रदान होती है। हम वोल्टेज एवं शक्ति को वेफर की आवश्यकताओं के अनुरूप ही सेट करते हैं।
ये लैंप सामान्य उद्देश्यों हेतु नहीं, बल्कि वेफर के तापमान को स्थिर रखने हेतु ही डिज़ाइन किए गए हैं… यहाँ तक कि तेज़ गति से तापमान बदलने की स्थिति में भी।
इन लैंपों का आकार भी छोटा ही है… इन्हें आप अपने मौजूदा RTP चैंबर में ही उपयोग में ला सकते हैं… बिना किसी परिवर्तन के। इनकी विशेष डिज़ाइन वजह से प्रक्रिया क्षेत्र में समान रोशनी मिलती है… इससे किनारों पर तापमान में अंतर नहीं आता।
सामग्री एवं डिज़ाइन
हम क्वार्ट्ज सामग्री का ही उपयोग करते हैं… क्योंकि यह उच्च तापमान एवं बार-बार होने वाले परिवर्तनों को झेल सकती है। हैलोजन गैस, ऊष्मा संचरण को स्थिर रखती है… एवं फिलामेंट को भी सुरक्षित रखती है… इससे आपको जल्दी ही पुनः भागों को बदलने की आवश्यकता नहीं पड़ती। कोटेड सतह, ऊष्मा वितरण को सुनिश्चित करती है।
कनेक्टर के रूप में हम R7s-टाइप इंटरफ़ेस का ही उपयोग करते हैं… यह व्यावहारिक, मानकीकृत है… एवं इसे आसानी से ही बदला जा सकता है। यह स्पष्ट संपर्क सुनिश्चित करता है… एवं जोड़ों पर अतिरिक्त ऊष्मा उत्पन्न नहीं होती।
अनुप्रयोग एवं लाभ
वेफर प्रसंस्करण में तापमान की स्थिरता ही सबसे महत्वपूर्ण है… हमारे लैंप, ऐसी ही स्थिरता प्रदान करते हैं… इससे आपकी प्रक्रियाएँ अधिक सुचारू रूप से चलती हैं। नियंत्रण प्रणाली भी बहुत ही तेज़ है… इससे त्वरित तापमान परिवर्तन भी संभव हो जाता है।
एक बात ध्यान में रखने योग्य है… उच्च तापमान के कारण चैंबर के शीतलन एवं बिजली आपूर्ति प्रणाली को उचित तरीके से ही डिज़ाइन करना होगा। यदि आप अधिक लागत खर्च किए बिना 0.1°C की स्थिरता चाहते हैं, तो हमारे RTP लैंप ही वास्तविक एवं उपयुक्त विकल्प हैं।