Lihatlah wafer Micro LED yang baru saja selesai dicuci, lalu dibiarkan sampai kering. Di jalur produksi, Anda tahu betapa cepatnya segala sesuatu bisa berubah menjadi tidak terkendali. Jika suhu Pemanas sedikit saja menyimpang, maka tetesan air di tepi wafer akan tetap ada, pola fotoresist akan menjadi tidak jelas, dan kualitas produk pun akan menurun sebelum proses litografi dimulai. Kami membuat pemanas khusus untuk mengeringkan wafer Micro LED agar variabilitas tersebut dapat dikurangi.
Yang penting dari sisi teknisnya
Peralatan ini menggunakan elemen inframerah berfrekuensi rendah yang berada di balik kaca kuarsa. Dengan demikian, pemanasan dapat dilakukan dengan cepat, dan proses pendinginan pun berlangsung dengan cepat pula. Suhu pada permukaan wafer tetap stabil di kisaran ±0,1°C. Hal ini memungkinkan tetesan air di tepi wafer hilang sepenuhnya, sehingga pola fotoresist tetap konsisten dari satu kali proses ke kali lainnya.
Peralatan ini dirancang untuk digunakan di lingkungan cleanroom kelas 1–100: bahan-bahan yang digunakan memiliki emisi gas yang rendah, dan aliran udara yang digunakan tidak akan menyebabkan partikel-partikel terbawa. Kami tidak hanya ingin mencapai slogan tertentu, tetapi benar-benar ingin menghilangkan generasi partikel sama sekali. Pemanas ini dapat dipasang langsung ke alat-alat produksi atau unit pengeringan yang sudah ada, dengan opsi tegangan standar, serta ukuran yang memadai untuk memungkinkan penggunaan robotik dan peralatan pengukuran.
Mengapa peralatan ini cocok untuk produksi Micro LED
Dalam proses produksi Micro LED, kontrol suhu sangat penting, karena tidak ada ruang untuk kemungkinan kontaminasi. Pemanas ini menjaga suhu tetap stabil selama proses pemanasan, sehingga tidak akan terjadi penyimpangan suhu yang dapat merusak kualitas produk. Dengan demikian, siklus produksi menjadi lebih singkat, dan limbah produk pun berkurang.
Penggunaan energi juga berkurang, karena sistem ini hanya memanaskan area yang diperlukan saja, dan proses pemanasan berlangsung dengan cepat. Keandalan peralatan ini tinggi, sehingga dapat digunakan 24/7. Komponen-komponennya dipilih agar memiliki umur pakai yang panjang dan interval perawatan yang dapat diprediksi, sehingga gangguan operasional dapat dihindari.
Beberapa catatan penting
Untuk mendapatkan kinerja terbaik, jalur pembuangan udara harus sesuai dengan saluran udara yang ada di alat tersebut. Jika ada ketidaksesuaian tekanan udara, maka waktu penyetelan akan memakan waktu lebih lama, dan hal ini dapat merusak kualitas produk. Saat memasang peralatan ini, pastikan ukuran chuck dan antarmuka koneksi sesuai dengan platform produksi yang digunakan.
Ada masa penyesuaian singkat untuk menentukan kombinasi pelarut dan ukuran wafer yang tepat. Setelah itu, proses produksi dapat berjalan tanpa gangguan.