Smettete di sprecare energia nei vostri sistemi di essiccazione
Siamo onesti: sprecare energia nelle fabbriche di semiconduttori significa semplicemente buttare via i soldi. Questo influisce negativamente sui costi operativi.
Il problema è che la maggior parte dei riflettori standard è piuttosto inefficace: essi disperdono l’energia infrarossa ovunque, il che significa che una grande parte dell’elettricità utilizzata non arriva nemmeno al wafer.
Abbiamo risolto questo problema utilizzando riflettori rivestiti d’oro ad alta purezza. In questo modo, l’energia viene concentrata invece di disperdersi.
Perché l’oro?
La maggior parte delle persone utilizza alluminio, ma l’alluminio assorbe troppa energia e ne riflette il resto in direzioni casuali. L’oro, invece, è estremamente efficace nel riflettere la luce infrarossa.
Invece che le pareti della camera assorbano il calore, la radiazione viene diretta verso il wafer. In questo modo, la densità termica si concentra esattamente dove deve essere: sul wafer. Si ottiene quindi un rapporto ottimale tra energia utilizzata e risultato ottenuto.
Controllare la distribuzione del calore
Quando si concentra l’energia, si riesce ad raggiungere rapidamente le temperature necessarie per l’essiccazione. Ma non è sufficiente concentrare l’energia in modo eccessivo. Se il calore non è distribuito uniformemente sul wafer, si creano delle zone calde. E queste zone calde possono causare danni al silicio. È importante assicurarsi che la distribuzione dell’energia sia uniforme, così da ottenere velocità senza correre rischi.
I limiti e come affrontarli
I rivestimenti d’oro sono piuttosto costosi. Non resistono bene ai chimici corrosivi o a pulizie aggressive. Se nella vostra fabbrica ci sono vapori chimici, sarà necessario utilizzare uno scudo protettivo in quarzo. Senza di esso, i contaminanti si depositano sull’oro, riducendo la sua capacità riflettente. In tal caso, sarà necessario aumentare la potenza utilizzata per tornare al livello desiderato.
Come sfruttarlo al meglio
Sostituire i riflettori tradizionali con riflettori rivestiti d’oro è un modo semplice per ridurre il consumo energetico senza perdere efficienza. Inoltre, ciò permette di ridurre il carico sui sistemi di raffreddamento della fabbrica.
Se non siete sicuri di quale soluzione scegliere, potrebbe essere utile fare un controllo sui riflettori attuali. Potreste scoprire che i riflettori attuali assorbono energia che invece potrebbe essere utilizzata per essiccare i wafer.