半導体レーザーダイオードヒーター

ファブ内では、フォトレジストの焼成温度が0.2℃だけ変動しても、グラフ上には何の変化も現れないまま、CDの均一性や歩留まりが悪化してしまいます。そうした問題を未然に防ぐために、私たちは半導体レーザーダイオードヒーターを開発しました。この業界においては、熱制御は単なる補助手段ではなく、プロセスそのも...