ファブIR用電圧レギュレーター

ファブフロアでは、フォトレジストのベークは任意ではなく、厳格に守るべき許容範囲です。ウェハ全体で0.5°Cの温度変動があると露光後の線幅バラつきとなり、それが収率低下に直結します。我々のファブ用IR電圧レギュレータは、熱プロファイルを安定かつ再現性を持って制御範囲内に維持するために設計されています...