ファブ内での炭素排出を削減する：なぜ真空型赤外線ヒーターが有効なのか 半導体を製造するには、さまざまな要素のバランスを取る必要があります。極端な高温が必要ですが、ウェーハが損傷しないように、真空状態で加熱する必要があります。長年にわたり、抵抗加熱が使われてきましたが、正直なところ、これは効率が悪い...

なぜ真空中でのヒーターにおいて誘電体の信頼性を重視するのか 真空チャンバー内で赤外線ヒーターを使用している場合、電気的な故障は単なる面倒事や時間の損失にとどまりません。それは実際の危険です。空気がないため、熱を逃がす手段がないのです。わずかな電気アークでも、チャンバー全体を破壊したり、高価な基板を...