ランプ用SCR電力調整器

製造現場において、フォトレジストの加熱処理時の温度変動は、単なる理論上の問題ではありません。これは実際に歩留まりを低下させる要因です。0.5℃の温度変動でも、回路の重要な寸法が変わってしまいます。また、設定値を常に追跡しようとするランプは、各ロットごとに時間を無駄にしてしまいます。そこで私たちは、...