コーター・デベロッパー用赤外線ヒーター

リソグラフィー工程において、ソフトベイクやハードベイク時に0.5℃のずれが生じるというのは、「わずかな偏差」とは言えません。これは歩留まりの低下を意味し、CDの均一性のグラフやスクラップの量からも明らかです。コーティング装置や現像装置に搭載されている赤外線ヒーターは、光学系やフォトレジストの特性に...