실제로 열이 필요한 곳에 더 많은 열을 공급하기 위해: 금으로 코팅된 IR 방출체
실리콘 웨이퍼를 가열할 때는 모든 에너지가 중요합니다. 일반적인 IR 방출체의 문제점은 열이 밖으로 새어나간다는 것입니다. 그로 인해 에너지가 낭비되고, 기계도 불필요하게 과열됩니다.
우리는 석영 표면에 금을 코팅함으로써 이 문제를 해결했습니다.
왜 금일까요? 금은 적외선을 반사하는 데 매우 효과적입니다. 알루미늄이나 연마된 강철로는 그러한 효과를 내기 어렵습니다. 방출체의 뒷면에 금 층을 코팅함으로써, 열이 기계 내부로 새어나가는 것을 막고, 그 열을 다시 웨이퍼 쪽으로 반사시킬 수 있습니다.
따라서 전력 공급을 높이지 않아도 더 높은 표면 온도를 얻을 수 있습니다. 훨씬 효율적이죠.
하지만 석영만이 중요한 부분은 아닙니다. 전류가 실제로 닿는 부분인 엔드캡도 중요합니다. 우리는 고품질의 세라믹을 사용합니다. 왜냐하면 온도 변화가 매우 심하기 때문입니다. 저가의 엔드캡들은 그러한 열을 견디지 못해 깨지거나, 전극이 산화되거나, 심지어 손상되어 아크가 발생할 수 있습니다. 이는 램프를 금방 파괴할 수 있는 원인입니다. 우리의 세라믹 엔드캡들은 고전압 상황에서도 밀폐 상태를 유지하여 시스템의 안정성을 지켜줍니다.
하지만 몇 가지 주의해야 할 점이 있습니다.
이 장치는 엄청난 양의 열을 생성합니다. 에너지가 집중되기 때문에 웨이퍼가 매우 빠르게 가열됩니다. 따라서 PID 컨트롤러를 꼼꼼히 확인하여 목표 온도를 초과하지 않도록 해야 합니다.
또한 금은 조금 까다로운 재질입니다. 주변 환경이 더럽으면 코팅이 손상되어 효율성이 떨어집니다. 반드시 청소를 잘 해주어야 합니다.
가장 좋은 점은 이 제품들이 그대로 교체용으로 사용될 수 있다는 것입니다. 기계를 재조립할 필요가 없습니다. 그냥 기존의 전력 공급 시스템에 연결하기만 하면 됩니다. 그러면 금이 그 역할을 해줍니다.
원하는 부분에 더 많은 열을 공급하고, 공기 중에는 적은 열만 남습니다. 그렇게 간단합니다.