파브 IR용 전압 조절기

Fab 공정 현장에서 포토레지스트 베이크는 선택이 아닌 필수 공정이다. 웨이퍼 전체에서 0.5°C의 온도 변화는 노광 후 선폭 변화로 나타나며, 이는 직관적으로 수율 저하로 이어진다. 우리는 fab IR용 전압 조절기를 설계하여 열 프로파일이 안정적이고 재현 가능하며...