클린룸 장비 업그레이드 공장
악몽을 막는 방법: IR 램프 고장으로부터 웨이퍼를 안전하게 보호하는 방법
솔직히 말해서, 반도체 공장에서 IR 램프가 고장나는 것은 치명적인 문제입니다. 단순히 히팅 요소가 고장나는 것뿐만 아니라, 석영 조각과 화학 물질들이 웨이퍼 위로 떨어지게 됩니다. 고부하 생...
클린룸 오븐 적외선 히터
파편의 발생을 막아라: 적외선 히터가 고장 났을 때 웨이퍼를 깨끗하게 유지하는 방법
솔직히 말해서, 웨이퍼 처리 과정에서 단 하나의 램프만 고장 나도 하루 종일 일을 망칠 수 있습니다. 그리고 생산된 실리콘 웨이퍼 전체도 망가지게 됩니다.
높은 부하로 생산을 진행할...
반도체 청정실용 트롤리 히터
왜 클린룸 트롤리에 강제 공기 순환 방식을 사용하지 말아야 하는가?
반도체 정밀 가공 라인에서 일해본 사람이라면 잘 알고 있을 것입니다. 대부분의 설비들은 웨이퍼나 기판이 이동하는 동안 적절한 온도를 유지하기 위해 열공기 순환 방식을 사용합니다.
물론 이 방식도 효과...
클린룸용 적외선 히터
클래스 100 클린룸에서 입자에 대해 걱정할 필요는 없습니다.
클래스 100(ISO 5) 등급의 클린룸을 운영할 때는 조심해야 합니다. 아주 작은 먼지 한 올이나 가스 배출로 인해 웨이퍼나 광학 부품들이 망가질 수 있습니다. 정말 스트레스가 많죠. 일반적인 가열 요소...
클린룸 벤치 적외선 램프
왜 클린룸에서는 적외선 램프를 사용하는가?
반도체 클린룸에서 일해본 사람이라면 알다시피, 공기의 흐름은 오히려 문제가 됩니다. 공기의 흐름으로 인해 먼지가 날리고, 입자들이 움직이며, 전반적으로 환경이 엉망이 되어버립니다. 그래서 우리는 벤치탑에서 부품을 경화시킬 때...