진공 환경에서도 사용 가능한 적외선 히터

공장 내 탄소 배출량을 줄이는 방법: 왜 진공 상태에서의 적외선 가열이 효과적인가 반도체를 제조하는 것은 균형을 맞추는 과정입니다. 엄청난 열이 필요하지만, 웨이퍼가 손상되지 않도록 반드시 진공 상태에서 가열해야 합니다. 오랫동안 우리는 저항식 가열 방식에 의존해 왔...