스핀 코터 베이크 램프

리소그래피 작업장에서 베이크는 일시 정지가 아니라 경계선이다. 소프트 베이크는 포토레지스트 내의 용제를 증발시킨다. 하드 베이크는 식각 전에 마스크 이미지를 고정한다. 램프가 불안정해지면 즉시 비용이 발생한다. 개발 후 비균일한 크리티컬 치수, 엣지 비딩, 스컴이 그...