Meer warmte op de plek waar het echt nodig is: IR-emitters met goudlaag Wanneer je siliciumplakjes opwarmt, telt elke energieboost. Het probleem met...

Stop met het opwarmen van de lucht: een slimmere manier om wafers te verwerken Laten we het hebben over de oude resistieve ovens. Die werken...

Op de lithografielijn is het proces natuurlijk bekend. Een afwijking van een halve graad op het wafer tijdens het drogen van de fotorezist is al...

Op de lithografieafdeling is een temperatuurschommeling van 0,5°C tijdens het bakproces al voldoende om een hele lading producten onbruikbaar te...

Op de fab floor is het bakken van photoresist geen optie—het is een tolerantienorm waaraan je je moet houden. Een drift van 0,5°C over de wafer...