W procesie litografii nawet odchylenie temperatury o 0,5°C podczas suszenia fotorezystu może doprowadzić do zmian krytycznych wymiarów elementów na poziomie nanometrów, co może mieć negatywny wpływ na jakość produktu. Dlatego właśnie projektujemy grzałki, które zapewniają stabilną temperaturę płytki krzemowej podczas całego procesu suszenia – bez konieczności zakłócania warunków panujących w czystej sali produkcyjnej klasy 1–100.
Co jest istotne? Dążymy do osiągnięcia jednolitości temperatury na poziomie ±0,1°C, mierzonej bezpośrednio na powierzchni płytki krzemowej, a nie gdzieś wewnątrz samej grzałki. Elementy o szybkiej reakcji, pracujące na krótkich lub średnich falach, pomagają utrzymać stabilną temperaturę, natomiast kwarc i ceramiki wysokiej czystości zapobiegają wytwarzaniu się gazów i cząstek. Montaż odporny na zabrudzenia oraz zabezpieczone przewody pomagają utrzymać liczbę cząstek w normie. System sterowania jest zoptymalizowany tak, aby każda próba suszenia dawała takie same wyniki, niezależnie od partii produktu.
W fabrykach o dużych mocach produkcji precyzyjne kontrolowanie temperatury podczas suszenia fotorezystu zmniejsza konieczność ponownych operacji korygujących oraz problemy związane z niestabilnością szerokości linii na płytkach krzemowych. Lepsza jednolitość temperatury oznacza mniej defektów na brzegach płytek oraz lepszą przewidywalność wydajności produkcji. Stabilna kontrola temperatury skraca również czas dostosowywania urządzeń oraz zmniejsza zużycie energii.
Te grzałki działają 24/7 przy niskich kosztach konserwacji, dzięki czemu nie ma ryzyka przerw w produkcji w trakcie ciągłego procesu.
Kilka praktycznych uwag Te urządzenia są zaprojektowane specjalnie dla określonych rozmiarów komór obrabiających oraz klas napięcia. Jeśli umieścimy je w obudowie, do której nie są przeznaczone, stracimy kontrolę nad jednolitością temperatury, a to może pogorszyć warunki w czystej sali produkcyjnej. Koniecznie zamawiajmy urządzenia z dokładnie określonymi wymiarami, typem złącza i napięciem. Po instalacji należy przeprowadzić szybką kontrolę termiczną, aby upewnić się, że wszystko funkcjonuje prawidłowo.