Bir Micro LED yonga parçasının son yıkama işleminin ardından orada durup kurumayı beklediğini görebilirsiniz. Üretim hattında her şeyin ne kadar hızlı tersine dönebileceğini biliyorsunuz. Eğer ısıtıcı birkaç ondalık derece bile yanlış pozisyonda kalırsa, kenarlarda su damlacıkları oluşur, fotoresist desenleri bozulur ve litografi işlemi başlamadan önce kalite düşer. Biz de bu tür değişkenlikleri ortadan kaldırmak için Micro LED yonga parçalarını kurutmak üzere özel bir ısıtıcı geliştirdik.
Önemli olan faktörler
Bu cihaz, kuvars pencerelerinin arkasında kısa dalga boylu kızılötesi elementler kullanarak hızlı ısıtma ve hızlı soğutma sağlar. Wafer seviyesinde sıcaklık homojenliği ±0,1°C civarında olur. Bu sayede kenarlardaki su damlacıkları tamamen yok olur ve kritik fotoresist işlemleri tekrarlanabilir hale gelir.
Bu cihaz, Temiz Oda Sınıfı 1–100 için tasarlanmıştır: Düşük gaz salınımı olan malzemeler ve partikülleri hareket ettirmeyen bir hava akışı sistemi vardır. Biz sadece bir slogana ulaşmaya çalışmıyoruz; sıfır partikül üretimi hedefliyoruz. Isıtıcı, standart voltaj seçenekleriyle birlikte kullanılabilir ve robotik sistemler ve ölçüm cihazları için yer bırakan bir yapıya sahiptir.
Micro LED üretimi için neden uygundur?
Micro LED’de termal kontrol çok önemlidir ve kirlenmeye yer yoktur. Bu kurutucu, hem yumuşak hem de sert ısıtma işlemlerinde sıcaklığı sabit tutar; böylece termal düzensizliklerden kaynaklanan sorunlar ortadan kalkar. İşlemler tekrarlanabilir olduğunda, kalifikasyon süreleri kısalar ve atık miktarı azalır.
Enerji tüketimi de azalır çünkü sistem sadece hedeflenen alanı ısıtır ve hızlı bir şekilde işlemler arasında geçiş yapar. Güvenilirlik açısından 24/7 çalışma için tasarlanmıştır; uzun ömürlü bileşenler ve öngörülebilir bakım aralıkları sayesinde planlanmayan arızalar engellenir.
Bazı pratik bilgiler
En iyi performansı elde etmek için egzoz yolunun cihazın hava kanallarıyla uyumlu olması gerekir. Uyumsuzluklar daha uzun ayarlama sürelerine ve partikül kalitesinde düşüşlere neden olabilir. Kurulum sırasında chuck boyutunu ve konektör arayüzünü kendi cihaz platformunuza uygun hale getirmeniz gerekmektedir.
Çözücü karışımı ve wafer boyutu için ayarlamalar yapmak için kısa bir kurulum süresi gereklidir. Bu ayarlar yapıldıktan sonra işlem daha sorunsuz bir şekilde devam eder.