Üretim alanında, temizleme sonrasında kalan az miktardaki nem ve doğal oksit tabakaları, farkına varmadan fotoresistin yüzeye yapışmasını engeller. Biraz bile sıcaklık değişikliği veya bir ısı noktası oluştuğunda, Soft Bake işlemi bozulur. Bunun sonuçları daha sonra ortaya çıkar: Aşındırma işleminden sonra yüzey kalitesinde düşüşler, litografi işlemlerinde sorunlar oluşur. Biz ise bu tür belirsizlikleri ortadan kaldırmak için temizleme sonrası kullanılan infraruj ısıtıcılar geliştirdik.
Teknik açıdan önemli olanlar
Bu cihaz, parçacık oluşumunu engellemek için kuvars içermeyen bir optik yolla kısa dalga boylu infraruj ışınları kullanır. Böylece sıcaklık kontrolü sağlanır ve Class 1–100 temiz oda koşullarında gereken seviyede kalır. Wafer üzerindeki sıcaklık homojenliği ±0,1°C olarak korunur; böylece fotoresistin pişirilmesi süreci daha hassas ve tekrarlanabilir hale gelir. Cihazın tepki süresi hızlıdır; bu sayede sıcaklık limitlerini aşmadan işlem yapılabilir. Bu ısıtıcı, hem standart Soft Bake hem de Hard Bake işlemlerini gerçekleştirebilir ve hem seri üretim hatlarına hem de bağımsız kurutma ünitelerine kolayca entegre edilebilir.
Neden pratikte işe yarıyor?
Temizleme ve durulama işlemlerinden hemen sonra yüzeyi kurutarak hazırlar ve fotoresist uygulanmadan önce waferin stabil hale gelmesini sağlar. İyi bir sıcaklık kontrolü, fotoresistin kalınlığının daha homojen olmasını sağlar ve kenar bölgelerindeki değişiklikleri en aza indirger. Enerji tüketimi düşüktür çünkü ısı doğrudan substrata iletilir ve termal kütle minimum düzeydedir. Sağlam bir ısıtıcı yapısı ve modüler servis imkanları sayesinde üretim sürekliliği korunur ve plansız duruşlar üretimi engellemez.
Planlamanız gerekenler
Cihazın çalışabilmesi için istikrarlı bir voltaj kaynağı ve etkili bir soğutma sistemi gereklidir. Isı performansı açısından tutarlı hava akışı ve temiz ısıtıcı yapıları şarttır. Montaj toleransları oldukça düşüktür ve cihazın boyutları da ilgili üniteye uygun olmalıdır. Fotoresist türünüze göre rampa hızlarını ayarlamak için kısa bir test süreci yapın ve ardından ayarları sabitleyin.