На стадії літографії існує певна нюанс: навіть зміна температури на 0,5°C може призвести до зміни критичних розмірів елемента на кілька нанометрів. Це означає велику кількість відходів. Ми створили інфрачервону лампу разом із пристроєм для створення потоку повітря, щоб зберігати температурний профіль на необхідному рівні – на самій пластині, по всій її поверхні, без змін з циклу на цикл.
Точність інфрачервоного нагрівання: однорідність та точність на рівні менше міліметра
Система використовує випромінювачі короткохвильового ІЧ-спектру для швидкого передавання енергії безпосередньо в фоторезист. Замкнений контроль дозволяє утримувати температуру в межах ±0,1°C. Кварцова конструкція забезпечує стабільний та повторюваний температурний профіль, а також однорідність температури по всій поверхні пластини. Це сприяє зменшенню кількості дефектів та підвищенню якості продукції.
Інтегрований пристрій для створення потоку повітря створює ламінарний потік повітря на поверхні пластини. Це дозволяє усувати вологу та частинки, не торкаючись самої пластини. Таким чином можна працювати у чистих приміщеннях класу 1–100, зменшуючи кількість частинок у повітрі.
Чому це підходить для обробки напівпровідників
Ця система призначена для обробки фоторезисту – під час процедур „м’якого“ та „жорсткого“ нагрівання, а також після експонування. Пристрій для створення потоку повітря усуває забруднення з поверхні пластини ще до того, як вони потраплять у фоторезист. Інфрачервоне випромінювання забезпечує необхідний рівень температури щоразу.
Результатом є кращий контроль критичних розмірів елементів, менша кількість необхідних корекцій та можливість планування виробництва. Пристрій також може працювати протягом 5 000 годин зі зниженням продуктивності менше ніж на 5%.
Інструкції з встановлення та експлуатації
Лампу можна встановити у стандартні пристрої для тримання обладнання. Однак важливо правильно налаштувати положення лампи та потік повітря. Необхідно також перевірити, чи можуть системи очищення приміщення впоратися з додатковим потоком повітря. Якщо ні, це може призвести до появи мікротурбулентностей, які спотворять процес нагрівання. Також необхідно регулярно калібрувати випромінювач – повторюваність результатів залежить від правильної налаштування.