На виробничій лінії навіть незначна зміна температури під час випалювання фотополімеру на рівні 0,2°C може призвести до порушення однорідності параметрів матеріалу ще до того, як це стане видно з графіків. Ми створили спеціальний нагрівач на основі лазерних діодів, який дозволяє запобігти таким змінам на самому початку процесу. Адже у цій галузі термоконтроль не є просто допоміжним елементом – це сам процес виробництва.
Точність інфрачервоного випромінювання: однорідність на рівні менше міліметра, можливість повторюваності результатів Ми поєднуємо використання ближньої інфрачервоної емісії з нагріванням пластини за допомогою системи з низькою тепломасою. Це дозволяє зберегти однорідність теплового поля на рівні менше міліметра, а також зменшити відхилення між краями та центром пластини. У активній зоні досягається однорідність параметрів на рівні ±0,1°C, а також можливість повторюваності результатів при роботі з різними партіями продукції.
Реакція системи є швидкою та передбачуваною, що означає, що параметри процесу залишаються в межах допусків без необхідності постійних корекцій.
Чому це ефективно у літографії та під час випалювання фотополімеру У процесі літографії поведінка фотополімеру залежить від історії температурних умов, а не лише від значень, вказаних на панелі керування. Наш нагрівач на основі лазерних діодів забезпечує стабільність цих умов, що дозволяє зменшити варіації товщини шарів та захистити найважливіші шари матеріалу.
Система працює у чистих кімнатах класу 1–100 без будь-якого утворення частинок, а також має герметичний оптичний шлях. Це запобігає забрудненню теплової системи. Результатом є надійна робота 24/7, менше споживання енергії та менша кількість необхідних для роботи компонентів – без жертвування якістю випалювання.
Встановлення та сумісність: підготовка до реальних умов експлуатації Цей пристрій може бути встановлений у наявні модулі для нагрівання пластин, але все одно потребує точного вирівнювання та встановлення в умовах чистої кімнати. Ефективність роботи залежить від правильного встановлення параметрів випромінювання та контролю навколишньої температури.
Очікується короткий період налаштування для підтвердження однорідності параметрів. Після налаштування процес залишається стабільним, без необхідності постійних корекцій.