لیتھوگرافی کے عمل میں، فوٹوریزسٹ کو گرم کرنے کے دوران 0.5°C کا فرق بھی اہم پیمائشوں کو نینومیٹر کی سطح پر تبدیل کرنے کے لئے کافی ہے؛ اس سے بہت سی مشکلات پیدا ہو جاتی ہیں۔ ہم اسی مسئلے کو حل کرنے کے لئے خصوصی ہیٹر تیار کرتے ہیں۔ ایک سیمی کنڈکٹر ہیٹر سپلائر کے طور پر، ہم ایسے تھرمل سسٹم ڈیزائن کرتے ہیں جو ویفر کے درجہ حرارت کو “سافٹ بیک”، “ہارڈ بیک” اور “پوسٹ-بیک” کے دوران بھی مستحکم رکھتے ہیں، بغیر کلاس 1-100 کے کلین روم کو نقصان پہنچائے۔
کیا اہم ہے؟
ہمارا ہدف ویفر کی سطح پر ±0.1°C کی حد میں درجہ حرارت کو برقرار رکھنا ہے؛ یہ پیمائش عمل کی سطح پر ہی کی جاتی ہے، نہ کہ ہیٹر کے اندر۔ فاسٹ-رسپانس والے شارٹ-ویو یا میڈیم-ویو عناصر، درجہ حرارت کو مضبوطی سے کنٹرول کرنے میں مدد کرتے ہیں، جبکہ کوارٹز اور اعلیٰ خالصیت والے سیرامک عناصر، گیسوں اور ذرات کی پیداوار کو کم کرنے میں مدد کرتے ہیں۔ کلین روم میں ذرات کی تعداد کو کنٹرول کرنے کے لئے مناسب طریقے سے آرایش اور تاروں کا استعمال ضروری ہے۔ کنٹرول لوپ کو اس طرح ڈیزائن کیا گیا ہے کہ ہر بار ویفر کا درجہ حرارت یکساں رہے۔
بڑے پیمانے پر پروڈکشن میں، فوٹوریزسٹ کو گرم کرنے کے عمل میں یکسانیت سے کام لینے سے ورک ری-کریشن اور لائن-ویڈتھ میں تغیرات کی وجہ سے پیدا ہونے والی مشکلات کم ہو جاتی ہیں۔ بہتر یکسانیت سے کناروں پر نقصانات کم ہوتے ہیں، اور پروڈکشن کی شرح بہتر ہوتی ہے۔ مستحکم اور قابلِ تکرار درجہ حرارت کنٹرول سے پروسیس کے وقت کم ہوتا ہے، اور توانائی کی کھپت بھی کم ہوتی ہے۔
یہ ہیٹر 24/7 کام کرتے ہیں، اور ان کی دیکھ بھال بھی کم ہوتی ہے؛ اس طرح مسلسل پروڈکشن کے دوران کوئی تعطل پیدا نہیں ہوتا۔
چند عملی نکات:
یہ یونٹ خاص چیمبروں اور وولٹیج کی سطحوں کے لئے ڈیزائن کیے گئے ہیں۔ اگر انہیں کسی ایسے ماحول میں استعمال کیا جائے جس کے لئے وہ ڈیزائن نہیں کیے گئے، تو درجہ حرارت کی یکسانیت ختم ہو جاتی ہے، اور انٹرفیس کی صفائی بھی متاثر ہو سکتی ہے۔ لہذا، درست سائز، کنیکٹر کی قسم اور وولٹیج کے ساتھ ہی انہیں منگوانا ضروری ہے، اور انسٹالیشن کے بعد فوراً تھرمل میپنگ کرکے ان کی کارکردگی کو یقینی بنانا ضروری ہے۔