适用于真空环境的红外加热器

在半导体制造过程中，如何减少碳排放？为什么真空红外线加热技术如此有效呢？ 制造半导体其实需要一种平衡之道：一方面需要极高的温度，但另一方面又必须处于真空环境中，这样才能避免损坏晶圆。长期以来，我们一直依赖电阻式加热方式，但说实话，这种方式效率很低。为了将温度提升到所需水平，需要消耗大量能源，而且很...