短波红外灯半导体

在光刻车间，时间从来不是你的盟友。软烘烤温度偏差仅2℃，就会导致溶剂挥发异常，改变光刻胶流动性，进而使关键尺寸控制超出规格。硬烘烤的不稳定会引起残胶和附着力下降，每片报废晶圆都会在时间、化学品和洁净室产能上造成损失。热控制不是“可有可无”的功能——它是工艺边界。 我们选择短波红外（SWIR）灯用于...