带风刀装置的红外灯

在光刻工艺中，温度的微小变化都会导致关键尺寸发生显著变化：只要烘烤温度有0.5℃的偏差，关键尺寸就会发生纳米级的变化。这无疑会导致大量产品报废。为此，我们设计了带有空气刀装置的红外灯，从而确保热量能够精确地作用于晶圆上，保持其稳定性。 红外加热的精度：亚毫米级的均匀性与重复性 该系统利用短波红外光...