停止浪费能源：更智能的晶圆加工方式 让我们来谈谈传统的电阻式加热器吧。虽然它们确实能起到加热作用，但实际上不过就是巨大的取暖设备而已。为了把晶圆加热到合适的温度，人们不得不耗费大量能源来加热整个腔室以及其中的空气。这显然是一种浪费。 因此，我们转而使用红外线加热技术。与其加热整个房间，不如直接将热...

在光刻工艺中，温度控制至关重要。在光刻胶烘烤过程中，即使只是让晶圆发生半度的偏移，也足以让原本稳定的工艺变得难以控制。我们之所以要严格把控低温烘烤和高温烘烤的条件，是因为温度的均匀性直接决定了线宽的精度。而这种控制从红外灯系统开始。 真正重要的因素是什么？ 我们选择铝制反射器，是为了确保其能够提供...